制程环境沙盘模型
在芯片、半导体器件生产全过程中，制程环境污染控制极为重要。核心制程的空气洁净度需要达到ISO Class 1，气态分子污染物(AMC)浓度需要低于百亿分之一，不合格的制程环境会导致产品良率大幅度降低。
制程环境沙盘模型
制程环境沙盘模型
普通的空气中含有大量微粒、浮尘等颗粒污染物及二氧化硫、氮氧化物、氨气等气态污染物，只有经过处理后才能进入洁净室。因生产半导体等微电子器件的洁净房需全天保持标准洁净度，所以洁净空调系统(包括排风系统)、为其配套的冷热源及相应的输送系统必须24h运行，与其他常规空调系统极其不同。
